ʱ�������ֽ��2022�꣬���о���ˮƽ�Ѿ��Ȳ�Ʒˮƽ���ˣ����з�������ˮƽ����豸�ļ��������������������һЩ�� �й���̻���Ʒ�о��Ѿ��ﵽ�ˡ��ж�ˮƽ��������DUV��̻���Ʒ�ܿ���ܳ����Ƴ�����ģ���ã��ݱ����Ϻ������з�����28��������̻������Ѿ������������ٹ�һ����һ�������ڹ���оƬ�����������ң�����о������������2020���˵���ģ�һ�������ڹ�ģ����7����оƬ��������Ʒ�ʻ��ܴﵽҵ����ɣ������ɵ�ʱ˵����ֻ������5��3����оƬ�š�ֻ������Ҳ����ֻ��EUV��̻��������ɵĻ���Ȼ�ǿ��ŵġ����е�EUV��̻���7���İɣ������Ѿ���̨�����Լ����������5����оƬ���� ���գ��б���˵�������Ѿ�����������7����оƬ���ˣ���Ҳ���ţ���ʱ��ڵ㣬�϶���Ҫ��ģ����7����оƬ���϶��Dz��ú���ASML������DUV ��̻�������һ�����й���̻���Ʒ��ˮƽ���ھ��Ѿ������ǵͶ˵��ˣ���ȫ���ձ���ͬ�ˣ���ͬһ�����ϣ���Ȼ�Ծ������������պ�ŷ����һ��ﵽ�ĸ߶�ˮƽ��Ŀǰ��ȫ��ˮƽ���ڹ��ڣ������������豸��ˮƽ��ͬ����������о����оƬ����ͳ���Ƽ�оƬ��װ�ĸ߶�ˮƽ���������ڻ�ΪоƬ��ƵĶ���ˮƽ����ƻ������ͨ�Լ�������ͬ���ﵽ��5���ף������أ������ж˹�̻�ȴ�ֱܷ�ֱ��֧����о���������������Ƽ���װ��7���Ĺ����߶�оƬ�����֧�ֻ�Ϊ�������´��ظ߶�����оƬ���ֻ�����Ȼֻ�ǡ�Ҳֻ�ܴﵽ7���ף�ȴ�϶������ˣ���Ϊ�ֻ�δ�ػ���˶��ﵽ�����߹�������ȱ�����١�����������һ���ġ� �й���̻������о��Ѿ��ﵽ�ˡ��ж�+ˮƽ�������ж˹�����̻���ˮƽ����һ���ġ��ж˹�̻�����������ģ�Բ�������Ȼ�������Ѿ������ж˹�̻�����Ĺؼ���������������������EUV�߶˹�̻����о���Ҳ��չ�ˣ���صı���һֱ�У����磬�п�Ժ���������о����о��Ĺ�����̨����ͬ�������Դ�豸��ʼ��װ������ʵ�ָ߶��Ƴ�оƬ�ĵ�̣��пƿ������Ƶ�ֱ��ʽ�Ͱ�����Ĥװ�ü����۽�����Ĥװ���Ѿ��������Ϻ����ӣ���һ���̶��ϻ����˶Թ�̻���ͷ��ѹ�����廪��ѧ������������Ӽ�������Դ����̬������SSMB�����ԣ��ù�Դ��ֱ�ӵ�Ӧ�þ�����Ϊδ��EUV��̻��Ĺ�Դ�� �п�Ժ�Ϻ���ѧ���ܻ�е�о�����Ϣ��ѧ���缼��ʵ��������������˻����������˫���������ػ���Ĥͼ�εĿ��ٹ�ѧ�ٽ�ЧӦ��������������Ϊ���ƶ����ɵ�·оƬ����Ħ�����ɼ�����չ���¶����������廪��ѧ�뱱�������ƺ��������65�������¹�̻���Ҫ��˫����̨���Ѿ��ǡ����š��ˡ���֪����ĿǰΪֹ����Ҫ����Բ��������ر��ǹؼ������������о��Ϳ�������ȡ���˸����Եġ�ʵ�������ʵijɹ����ֻ���ˡ���ء��ijɹ�������Ӧ�ã� �������н�չ����ǰЩ����ȣ�ȴ�����ܴ����ܿ죬����֧����EUV��̻��IJ�����Զ�ţ����¹���EUV�����������о�����û�п�ʼ����Ȼ��Ҫ�����ڴ�Ҷ�˵���ر������ԭ���ڣ���̻��ġ�����ؼ�����������߶˻���������һ�����������ջ���ȫ��ﵽ����һ�죬����������������һ�쵽��֮ǰ���Ѿ����ڻ����ˡ��ο����п�Ժ������2019��Ͳ������¼���·�߹�̻����о�������һ�����˽�չ����֮���Բ���һ������Ϊ�϶��˻���졢���ڲ��������Ż���������Ȼ�Ϳ����ڴ�ͳ·�߹���EUV��̻�û����֮ǰ�ȶ��ϣ� ����SEMIԤ�⣬2021��ȫ���뵼���豸�г���ģ��������34����953����Ԫ����2022��ȫ��뵼���豸�г�����ͻ��1000����Ԫ����Ҫ�����������ڰ뵼����ҵ����������ȫ��뵼�峧���ʱ���֧�������ӡ� ��̻�������оƬ�����豸������Ҫ���豸֮һ������豸�Թ�ѧ������Ӧ��Ҫ�ߣ�ӵ�м��������ݣ��ѳ�Ϊ�߶�¢����ҵ�� ���㶦����һ����� ASML���������������ռ�����Ĺ�̻��г��������г��γ������㶦���ľ��档2021�꣬�����ҵ����ɵ�·�ù�̻�������478̨����2020���413̨����65̨������Ӫ��������2021��ǰ����ASML��������ܵĹ�̻���Ӫ�մ�1076��Ԫ����ң���2020��С������8��9������Ӫ��ռ��������ASMLռ��80���ķݶ ASML�ƺ��Ѿ���Ϊ�ˡ���̻����Ĵ����ʣ���Ϊ���ʲ��õ���ͷ��̻����̣�ASML���²�Ʒ����ȫ�������̻��豸��������ˣ�ASML�����ܹ�����7nm��5nm�Ƴ�оƬ���������ij��߶�EUV��̻�����һ������� ��ͼ��������Ѿ��������Ƚ���̻����о�����Ϊ����ˮƽ��������ͼ�����7nm�������Ƴ�оƬ�����������������ASML��ҵ��չ��Ҫ�����еͶ˹�̻��г���δ��ASML����ҵ��λ�������ȹ̡� Ŀǰ�������ArF��ûʽ�������־�������Arf��i��line��̻�����EUV�����������в����죬��̹��վ���ASML���в�С��ࡣ���������Ȼ��Ұ����ASML�� ������Ҫ�Ĺ�̻���Ʒ������i��line��̻����档���Ȼ�ڹ�̻���ҵ��չ���ֳ����»�̬�ƣ���ƾ����꼼������λ�Ӷ��߹�Ӧ�̵�λ������ֻ���������ߡ� �����뵼���豸�����̰� ��̻������켯���˾��ܹ�ѧ�������������߷��������뻯ѧ�ȶ������綥���Ƚ���������̻�����Ϊ���뵼�幤ҵ�ʹ��ϵ����顱�����ڹ�̵Ĺ���ˮƽֱ�Ӿ���оƬ���Ƴ�ˮƽ������ˮƽ����̳�Ϊ IC ��������ӡ���ؼ��Ĺ��ղ��裬�ķ�ʱ��Լռ������Ƭ���յ� 40����60���� ���ڹ�̻���ʳ�������ˡ�������EUV��̻���EUV��̻��ķ�չ���ܹ������뵼���ҵʵ�ֿ�Խ�Եķ�չ��5G�����ķ�չ�����ﻥ������ı��𣬶�ʹ�߶�оƬ��������ӵ���ʢ��������EUV��̼������������İ�������ʵ�ָ��١����ĺ��ɵ�оƬ�������գ�������5G�����ܡ�����������ʱ�Ӻͺ������ӵ����� EUV�߶˹�̻����켼���߶ȸ��ӣ���ѧ��ͷ����Դ�豸������Ϊ���ĵġ��߾��ܹ�ѧ��Ƭ�ǹ�̻����IJ���֮һ������ֵ���ľ�ͷ������̻��ֱ����Լ���ֵ���������EUV�������̻�Ψһ��ʹ�õľ�ͷ�ɿ�����˾�����������ܹ�̻���Ҫ���С�����ʸߺ��ȶ��Ĺ�Դ������EUV��ԴΪ��������ӹ�Դ��LPP����Ŀǰֻ����������Cymer���ձ�����Gigaphoton���ܹ�������������Щ���еĺ��IJ����Զ��й����ˡ������ڸü����ĸ߱��ݣ���̻���Ϊ�й��뵼���豸��������̰塣��ʱ���ڣ��й���̻������������̻�����ˮƽ�� ������̻��豸֮�� ��Ȼ���ڵĹ�̻���ҵ��ʱ����ƽ���ʴ�ˮƽ�����ǹ����뵼���豸���̼�����㲿������Ҳ����Ŭ�����ⷢ���� �Ϻ����� ���ҹ���̻��豸���������Ϻ�����һ������� �Ϻ�������2002�����������Ҳ����20��Ĺ�̻��з���ʷ����������SSX600ϵ�в���ɨ��ͶӰ��̻������ı���С���ʵ�ͶӰ�ᄉ����������Ӧ������ƽ�������Լ����ٸ߾����Լ��������ɶȹ���̨��ģ̨������������ICǰ������90nm��110nm��280nm�ؼ���ͷǹؼ���Ĺ�̹��������豸������8����12���ߵĴ��ģ��ҵ������ ���չ�� ���չ�������2001�꣬��Ӫ����������豸���з������������ۡ��߱�����һ���Ĺ�ѧ���ܻ�е���ѧ�����з�������������ʵ���ϣ��������ڹ�ѧ�뾫�ܻ�е������ļ������º��ۺ��������ƣ���˾�ɹ������˰������ۺ����˺���ɴ����ڵĶ�������ش�������Ч������ҵ�����֡� ͬʱ��������ɶ�������������ڹ�����̻��������ͷ��λ�����չ�缫����Դ�������ơ� �����ų������߶˹�̻��ع�ϵͳ���з��������̽Ρ����չ�������ɹ�վ�Ϲ�̻���������ķ�ڡ� �����Դ 2016��7�£��й���ѧԺ���Ժ���й���ѧԺ�����о�����������ׯ����Ͷ������˾���п�Ժ�����ʲ���Ӫ����˾��ͬͶ�ʴ��������Դ����ؼ����ڣ������Դ���й�Ψһ����������߱��߶����Ӽ��⼼���Ĺ�˾���߶����Ӽ�������������̻�����ĺ��������������Դ�Ĺ�Դ�������ֲ��й��ڸ߶˹�Դ���������Ŀհס� 2020��4�·ݣ������Դ������·��̹�Դ���켰���������Ŀ�������衣����Ŀ�ɱ��������Դ��缼������˾Ͷ�ʽ��裬��Ͷ��5��Ԫ���������1��2��ƽ���ף����RS222������Ӽ���������������Ӽ�������405�������ͷ�ȸ����豸30̨���ף��� ASML�ijɾͣ��й���ҵ��ȡ���٣� ASML�ijɹ�֮·Ҳ���ǿ�ׯ���������ɹ�ʷ��Ҳ���������ҵ�ڴ��档ASML�������ڣ�Ҳ�м��������ʽ�����谭���ּ��ϰ뵼���ҵ�������Ե�˥�ˣ�������Ͷ��·��1995�꣬ASML���У�������ʽ������ASML��չ������2000�꣬ASML�Ƴ�TWINSCAN˫����̨��̻���һ�ٵ춨��ASML����ͷ��λ��2010��ASML��˾�ɹ��з���̨EUV��̻����ɴ�һ�����������ҵ����������ԶԶ˦��������ASML�ĻԻ�·���ҵ�����ⲿ���������йأ�Ҳ�����������ӿƼ����з������ղ�ҵǰ�ض�̬�����ı�Ȼ����� ASML�ڳ���֮ʱ����չ�ò���˳����Ҳ�벻���ⲿ��֧�֡�������ͨ��ŷ����ͺ����������ڵIJ������ż������������֮��Ҳ������Ϊ����˸�����ʽ𣬲�����������������о��С� ASML�����ڴ��£������з���ASML֮�����ܳ�Ϊ������Ψһ��������EUV��̻��Ĺ�˾���벻������̨������������ġ�����ʽ��̼�������������������ʱҵ�ں�������Ը�Ⳣ�ԣ���ASMLԸ�Ⳣ�Ըü�����ʹ�ø÷�����ASML����Դ����һ�ٴ�193nm���̵�132nm��ASMLҲ���ٲ�ʳ��̻��г��ݶ���⣬ASML�Ӳ�����Ͷ���з����ã��о�Ͷ�볤����������ҵ�������֣�ASML�з�����ռ�����۶����Լ20����Զ����ҵƽ��ˮƽ��3���� ASML�ǿ��ŵġ�ASML������һ��100���ġ�ԭ���ߡ���ASML��̻��г���90�������������ɹ��������̻����㲿������ȫ����ص���ͷ��ҵ��ASML�Ⱦ�Ʒ��˾�����������Ϲ�Ӧ������Ҫ�ԡ������ASML������ʧ�ܵ�һ����Ҫԭ������������й�̻�����з��ؼ��������������Լ���� ASML�Ѿ��ܶ���������ҵ�γ��Ӵ�����湲ͬ�壬�γɸ߶���̬��ϵ���ݡ�Ϊ����ʽ�������2012��ASML������ˡ��ͻ�����Ͷ�ʼƻ������ͻ���ɿ��Ա�֤�����õ������豸��IBM������������ʿ��̨����ȿͻ��������Ĺɶ�������˵�������뵼����ҵ������ASML�ĺ�����飬�Ӷ��γ����Ӵ�����漯�š� ����֮�⣬�������ԣ� �����߲����������뵼����ҵ���ʽ���������ʹ�֮��̻���ҵ����һ��������ս�پ���ս��������Ӧ�ñ�֤���֧�������ʽ�ij־����������ԡ����˹����ʽ��⣬����ʱ��������뵼���ҵ����Ķ�Ϥ���������롣���ù��Ҵ������ʱ��Ĵ������ã���������ʱ�����뵼���ҵ�������Ƚ������������ƶ���̻���ҵ����������� �Ӳ�ҵ���������ڹ�̻���ҵӦ�ôٽ�������ҵ����Э����չ�����������ҵӦ�γ����õIJ�ҵ�ֹ������㲿������������ҵ���Լ��ó������飬������Ϊ���ܵĺ�����ϵ���ӿ��̻���ҵ����������̡� ����ҵ������������ҵӦ�û��������ⲿ���飬����ʽ���¡����Ź��κο��ܳɹ��Ļ��ᣬ������ҵǰ�ض�̬������Ͷ���з�����ʵ���������е�оƬ���춼��ҪEUV��̻�����������ձ���̻���ҵ��ȫ��뵼���豸�г���Ȼ��һ���ĵ�λ��ʵ�������ڵ���ҵ��������Щ��̻���ҵ����������ϵ�ͼ������������ջ��ۼ����� ԭ�ı��� : �й���̻���ҵ����ƾ֣� |